精機產品，技術報告：低產塵量潤滑脂LG2，LGU系列

半導體、液晶面板等信息產業中設備制造用驅動裝置有滾珠絲杠、直線導軌和滾動軸承，他們的潤滑脂導致的顆粒具有惡劣影響。潤滑脂產生的顆粒是半導體制造過程中的污染源，是導致失去產品價值的缺陷的主要原因。
以往的環境下一般使用蒸發量小的氟素系潤滑脂，但存在摩擦力矩，耐磨性及耐蝕性等問題。但是市售的以礦物油和合成油為基油的潤滑脂產塵量過大，存在不適合清潔環境的問題。
為了改善這個問題，NSK開發了清潔環境用LG2、LGU潤滑脂
產塵量與動摩擦力矩的變化關系如圖1、2所示。

• LG2潤滑脂通過最合適的配比，在嚴格精密的制作條件下，實現的低產塵性。同時具有耐磨損性、耐蝕性和低摩擦力矩等優異特性的潤滑脂。
• LGU潤滑脂則在LG2潤滑脂之上，具有更高的溫度使用范圍，同時從配方成分去除了金屬元素。

表1顯示了低產塵性潤滑脂的性能。